据张江发布的消息，5月13日，中科飞测举行了集成电路量检测设备合作伙伴大会，并同时启动了上海张江研发中心及生产基地的项目仪式。据了解，中科飞测计划在张江科学城投资超过10亿元，设立第二总部，建设占地超...
根据天眼查的资料，深圳中科飞测科技股份有限公司的一项专利“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”已公布，公布日期为2025年3月11日，公布号为CN119594908A。该发明属于半导体关键尺...
